用脉冲激光沉积法在(110)取向的 srtio3(sto) 单晶衬底上制备了 pb(zr0.52ti0.48)o3/nife2o4/la0.7sr0.3mno3(pzt/nfo/lsmo) 磁电复合外延薄膜, 并用 x 射线衍射和透射电镜技术研究了外延薄膜的物相和显微结构。 原子力显微镜结果表明 pzt、 nfo 和 lsmo 薄膜表面均平整, 晶粒尺寸分布均匀, 表面粗糙度分别为1.8,1.7 和 0.2nm。 x 射线衍射、选区电子衍射和高分辨透射电子显微镜(hrtem)测试结果均证明各层薄膜沿(110)sto 衬底外延生长, 其外延关系为(110)pzt//(110)nfo//(110)lsmo//(110)sto 和[001]pzt//[001]nfo//[001]lsmo//[001]sto。 hrtem 结果显示,nfo/lsmo 界面和 lsmo/sto 界面平整外延性好, 无缺陷, 而 pzt/nfo 界面较粗糙; nfo 薄膜表面呈锯齿状, 锯齿状面为立方 nfo 的能量最低 {111} 面, 而 pzt 薄膜表面呈岛状, 进一步的显微结构分析认为 pzt 薄膜为层状...
10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.01.002
tb383;o614.8
